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El eje del actuador sesenta y seis está acoplado a un eje portaherramientas 68 por medio de una celda de carga 258. El eje portaherramientas sesenta y ocho sostiene la herramienta de corte 24 con punta de diamante.

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Por tanto, se puede ver que el soporte 18 de obleas se puede mover no solo en una rotación, sino también de derecha a hipervínculo en la dirección X bajo el movimiento de la mesa X, y de adelante hacia atrás durante el movimiento de la Mesa Y. Con referencia ahora a los dibujos, se muestra en las Figs. 1-10 una primera forma de realización del dispositivo mecánico 2 del sistema de fractura por incisión de la presente invención. Visto desde el exterior, como en la fig. 1, el dispositivo de rotura de marcas 2 está soportado sobre una unidad base 6 cubierta por una carcasa exterior cuatro. La oblea 34 que se va a rayar y / o romper se transporta en un receptáculo 18 de sujeción de obleas de vacío dispuesto en la superficie superior frontal del dispositivo 2.

Esto, a su vez, permite al operador hacer una puntuación de prueba en la oblea, observar una imagen digitalizada de la puntuación en la pantalla, colocar la cruz sobre la puntuación de la prueba y registrar la posición de esa cruz en la memoria. Antes de realizar una puntuación adicional, la posición de la mira se superpone en la línea o trayectoria que se va a marcar, lo que garantiza que las siguientes puntuaciones se realicen exactamente en la línea deseada. Esto se puede lograr haciendo que un operador ajuste la posición Y mientras mira la oblea y la mira en el monitor, o puede hacerlo automáticamente la computadora usando técnicas convencionales de reconocimiento de patrones.

El corte automático se detendrá tan pronto como se presione el botón automático por segunda vez. Alternativamente, el dispositivo dejará de romperse cuando se alcance el tamaño de oblea programado o se active el interruptor de límite en Y. Esto hace que la mesa de vacío gire noventa grados para permitir que la oblea se rompa a lo largo de las partituras normales a las partituras originalmente rotas. Si las tecnologías de dispositivos semiconductores pueden cumplir con estas especificaciones objetivo, las tecnologías de envasado deberán mejorar significativamente. La introducción de la tecnología DirectFET® ha permitido una reducción significativa en la resistencia del ensamblaje sin troquel en comparación con los ensambles de energía SOIC de ocho puertos convencionales.

La superficie radialmente exterior de esta parte del soporte de obleas 18 asentada en el rebajo 38 tiene engranajes radiales exteriores que engranan con un engranaje circular correspondiente dispuesto en el rebajo 38 y son impulsados ​​en rotación por el motor theta 232. Así, el soporte de obleas 18 puede ser accionado angularmente por el motor theta 232 a través de un ángulo de al menos noventa grados de modo que una oblea 34 llevada en el soporte 18 puede girarse incluso a través de un arco de noventa grados, si se desea.

Como se muestra mejor en la FIG. 6, una disposición cuarenta de soporte de varilla de impulso está montada en la mesa X 9 debajo de la abertura anular del soporte de oblea 18. Cuando se dispone una oblea 34 sobre la abertura anular del soporte de oblea 18 y se aplica una presión negativa, la oblea es tirado hacia abajo contra él y asegurado al soporte de oblea 18. El conjunto de soporte de barra de impulsos comprende la propia barra de impulsos 28 y el motor de barra de impulsos, indicado como motor de separación 236 en la FIG. 17, y un codificador de posición, indicado como posición de separación 238 en la FIG.

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Por lo tanto, bajo el control del servomotor 228, el módulo de puntuación 20 se puede girar a las posiciones a las nueve, a las tres y a las cinco en punto, en cuanto a la rotura, inserción, y las figuras 3A y 3B proporcionan un Breve descripción de los principales elementos mecánicos del scoring – / Break device 2 y su funcionamiento listo. El módulo de puntuación 20, la cámara 14 y el yunque 26 están todos montados en el bastidor trasero 6a. El módulo de trazado 20 puede girar alrededor de un eje perpendicular a la superficie del bastidor trasero 6a y su herramienta de corte de diamante 24 se mueve linealmente hacia adentro y hacia afuera en cualquier dirección hacia la que se enfrenta el módulo 20. La cámara 14 está montada fijamente y enfocada en cada oblea sostenida por el soporte 18 de oblea mientras está dispuesta en la estación de trazado S.

El extremo superior de la barra de impulsos 28 es una cuchilla recta y afilada 30. El motor de la barra de impulsos 236 se puede mover entre las posiciones superior e inferior. En su posición inferior, el borde afilado 30 de la varilla 28 está en su posición más baja, más alejada de la oblea 34. La FIG. 9 ilustra una variante de realización en la que el yunque 26 se retira y se coloca contra la superficie inferior de la oblea 34 mediante una toma de vacío complementaria que se puede reemplazar en ochenta.

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El motor 228 de ángulo de trazo se utiliza para colocar el ángulo de trazo desde la superficie de la oblea. El motor 228 de ángulo de trazado utiliza la retroalimentación del codificador 230 de ángulo de trazado para conseguir la posición deseada del ángulo de trazado. El motor theta 232 acciona el receptor 18 de vacío que sostiene la oblea en la dirección theta o de rotación para alinear la oblea con la varilla de pulso y el yunque durante el trazado y / o rotura, y también para girar la oblea noventa grados durante el trazado y rotura.

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